序号

故障现象

原因

维修方法

1

动作失灵

1 电气接线不牢或接错

2 控制油箱压力不足

3 油箱注油不足

1 检查电气

2 适当调高控制油压至1.5MPa

3 加油

2

上缸爬行

1 系统内积存空气或泵吸空

1 检查泵吸油管是否进气，然后多次上下运动并加压

3

停车后上缸下溜严重

1 缸口密封环渗漏

2 压力阀调整压力太小或阀口不严

1 观察缸口，发现漏油检修

2调整压力检查阀口

4

压力表指针摆动厉害

1 压力表油路内存有空气

2 管路机械振动

3 压力表损坏

1 上压时略拧松管接头，放气

2 将管路卡牢

3更换压力表

5

高压行程速度不够，上压慢

1 高压泵流量调得过小

2 泵磨损或烧伤

3 系统内漏严重

1 按泵之说明书进行调整 

2 若泵回油口漏损大时，应拆下检查

3 首先检查充液阀是否关闭，再分别检查各部件是否损坏

6

保压时压降太快

1 参与保压之各阀口不严或管路漏油

2缸内密封环损坏

1 检查充液阀，保压泄压阀之密封研和情况

2 更换密封环

7

定压输出超压严重

1 比例输出过大

2 比例减压阀动作失灵

1 调整比例输出大小，调整FP93表PID值

比例减压阀阀芯清洗

序号

故障现象

原因

维修方法

1

按下[加热电源]在弹出的控制窗口中，按下[启动]按钮后未执行加热电源开启或升温动作

1.控制柜中控制加热电源输出的断路器为OFF状态

3.端子排上加热电源线连接松动

4.触摸屏与PLC通讯异常

1.将控制柜中断路器由OFF拨到ON的状态

2.按住FP93温控仪表的[RUN/RST]按钮使[RUN]灯亮

3.检查接线是否有松动或连接异常

4.检查触摸屏与PLC的通讯线是否连接正常，PLC的RUN灯是否亮起

2

执行升温后，长时间未达到要求目标温度

1.温控仪表限制输出电压幅度

3.设定的目标温度超过技术参数要求

1、2.联系我公司技术人员解决

3.严格按照技术参数要求设定目标温度值

3

温度测量信号异常

1.热偶或红外损坏

2.热偶接线方向错误

3.温度测量线路松动

1.更换热偶

2.交换热偶接线方向

3.检查连接线路是否有松动

序号

故障及现象

原因

维修方法

1

按下[机械泵]按钮，在弹出的控制窗口中按下[启动]按钮后，机械泵不启动

1.接线松动或断线

2.冷却循环水未开启：冷却循环水路安装电接点压力表，与机械泵互锁，只有冷却循环水开启后，才能开始机械泵

3.触摸屏与PLC通讯异常

1.检查接线是否正常

2.开启冷却循环水路

3. 按下机械泵启动按钮后，查看PLC输出点是否亮起，如不亮，则检查触摸屏与PLC的通讯线，或重启系统，或继电器有松动

2

按下[扩散泵]按钮，在弹出的控制窗口按下[启动]按钮后，扩散泵不启动

1.接线松动或断线

2.触摸屏与PLC通讯异常

3.真空度未达到扩散泵启动要求：扩散泵启动需要真空计J2报警灯亮时(真空度达到10Pa以下)才能开启

1.检查接线是否正常

2.按下扩散泵启动按钮后，查看PLC输出点是否亮起，如不亮，则检查触摸屏与PLC的通讯线，或重启系统，或继电器有松动

3.继续抽真空，当真空计J2报警灯亮时，再开启扩散泵

3

真空系统用一段时间后，在用扩散泵抽高真空时始终达不到要求

1.由于操作不当，使扩散泵油氧化

2.真空箱体内粉尘或潮湿等原因造成污染

1.更换扩散泵油，并严格按照操作流程操作

2. 用风管将粉尘吹净，严重时需要更换绝缘件；将炉体内进行加热烘干，温度控制在工作温度左右1---2小时，反复2---3次

4

升温时，温度升不上去

1.已达到极限温度

2.加热导线与其他导体相连

3. 真空箱体内粉尘或潮湿等原因造成污染

1.修改工艺参数，严格按照技术参数指标设定目标值

2.用万用表检查导线与炉体等导体之间是否有连接现象，检查绝缘件是否损坏

3. 用风管将粉尘吹净，严重时需要更换绝缘件；将炉体内进行加热烘干，温度控制在工作温度左右1---2小时，反复2---3次