真空氧气氛热压中频炉技术参数和好点分析

1、炉体前部开门，便于送料与取料；模具安装、使用和维修方便。设备在加压烧结时用PLC对设备进行控制，具备自动加压、自动稳压及保压功能，对压机的行程与压力同时进行监控。压力调节器采用进口，性能可靠，配有调速阀可调节加压速度，并具有压力波动小（≤±0.1 MPa）、位移变化显示精度可达0.02mm、数字信号输出和抗干扰性强的特点。设备具有较可靠的压头动密封结构，具有较高的真空度与较低的压升率。

2、采用炉压自动控制技术，能自动控制气氛烧结。

3、控制系统由PLC及图形模拟屏技术，系统运行可靠、操作直观。可在自动及手动模式下使用。

(一)真空氧气氛热压中频炉技术参数：

1 Z高温度：1550℃；

2 升温时间：由室温升至1550℃≤90 min（空炉）；

3 工作区尺寸：φ300×250mm (直径×高度)；

4 冷态极限真空度：≤5×10－3Pa；

5 热态极限真空度: ≤5×10－2Pa (空炉 1550℃)；

6 压升率：≤0.5Pa/h；

7 压机吨位： 50T；数显指示、自动控制及调整压力、自动保压；

8 压头直径：φ100mm；

9 压头行程：100 mm；压头总行程：2×100=200mm；

10 控温精度：±1℃；

11 均温性：±5℃；

12 可在真空、空气或氧气条件下使用，氧化气氛充气压力≤0.11MPa；

13 升温速率能实现程序控制，自动保温；

14 加压方式:上下压头双向加压; （压力通过日本岛电FP93仪表进行自动控制）

15 测温方式: 安装双铂铑热电偶控温及钨铼热电偶控温两套系统。

16 采用KTC100电阻位移计，位移显示精度0.02mm。

(二)真空氧气氛热压中频炉安装条件：

1. 占地面积：3000×3000×2500 (mm)；

2. 设备总重量约5.5吨，其中压机及炉体部分重量约3.5吨，磁性调压器及真空机组、电控柜等附件重量约为2吨。

3. 安装形式：立式；

4. 电源：加热功率30KW，装机功率：45kw，380V；

5. 水源：压力≥0.2Mpa，流量≥4t/h；

(三)真空氧气氛热压中频炉成套范围及特性：

1）真空氧气氛热压中频炉加热室：

1. 用于真空或氧气气氛：加热器为二硅化钼连接成鼠笼状。在均温区外环形对称分布。保温材料为莫来石保温毡。不锈钢外壳。为了便于进出料，加热室前部开门，水平出料。

2. 采用三区分布的加热方式保证了Z佳的温度均匀性和工件的均匀受热。

3. 发热体更换方便。整个加热区可以作为一个结构完备的部件被拆卸出来，便于维护和修理。

2）真空氧气氛热压中频炉炉体：

立式安装，采用前开门方式,双层水冷结构、内层为不锈钢，外层为碳钢，内部按高真空要求抛光，外部喷涂油漆。炉体内腔表面处理要求：经过严格抛光处理,所有焊点焊缝打磨平滑，不允许有氧化或生锈痕迹。炉体上设有真空接口、电极引入装置、热偶测温装置、光学测温装置。充气装置、放气装置。炉门上设有观察窗装置，电极引入装置。炉体与炉门密封结构为法兰形式，手轮螺栓锁紧。异型密封圈更好的保证密封低泄漏。炉体中间设有上、下压头，上下压头为不锈钢水冷制成，下压头可随油缸移动而实现向上加压，采用可靠的真空密封，确保漏气率达到国家标准。金属压头与耐温耐氧化压头联接，耐温耐氧化压头进入热区，耐温耐氧化压头形状由于同热压工艺密切相关，故由使用方自备。炉体上设有上下两个压头安装孔，六个电极安装孔，一个测温孔（一个双铂铑热电偶，一个高温钨铼型热电偶可互换，共用此口），一个排气口，一个氧气气体进入口（通过压力传感器及二次仪表自动控制充放气压力），一个机械式安全阀口（超过额定压力后自动泄压），二个压力表（其中一个为直读式真空压力表，另一个为带模拟变送的压力传感器）。

3）真空氧气氛热压中频炉真空系统：

由KT-400扩散泵（兰州真空生产）、氟利昂冷阱（兰州真空生产）、ZJP-150罗茨泵（成都南光生产）、TRP90直联式真空泵（优成真空生产）、QF-400高真空挡板阀（沈阳威泰生产）、DN100气动角阀（川北真空生产）、DDC-JQ50电磁带放气阀（川北真空生产）、波纹管、管路、支架等组成；扩散泵开始工作后冷态真空度抽到5×10－3Pa时间不大于90min。

4）真空氧气氛热压中频炉充放气系统：

由电磁阀、气体质量流量计（北京七星华创生产）及管路构成，可设定不同的充气压力范围，通过压力开关可自动充气和补气，并通过气体质量流量计控制不同的充气流量。

5）真空氧气氛热压中频炉气控系统：

由小空压机、气动三联件、电磁换向阀、管路构成。用来驱动真空系统的气动阀门及低温热电偶拖动气缸。

6）真空氧气氛热压中频炉水冷系统：

根据真空炉各部分对冷却水的要求，制作水箱及积水排、由阀门、管路等组成；对炉体、炉盖、真空系统及水冷电极进行冷却。其中总进水管路安装水压传感器。

7）真空氧气氛热压中频炉压力机及液压系统：

压机型式采取双梁四柱式，双向加压，上下压头行程各100 mm，输出压力为3～50T，具有较大的工作平台，用来放置真空炉体。为了保证上下压头的平面度，炉体上的水冷压头与油缸的连接方式为法兰连接。

真空-热压炉专用的液压系统，由油箱、MCY14-1B轴向高压柱塞泵（上海高压油泵厂）电磁溢流阀（北京华德）、二台电磁换向阀（北京华德）、二台RZGO-A-010/210比例减压阀（意大利atos）、二台手动节流调速阀（北京华德）、压力传感器（湖南宇航）等组成。液压系统具有二次过滤功能（进回油过滤器，其中进油过滤器为10μm，回油过滤器为20μm），有效防止污物进入阀体影响使用。

为了避免连续保压油温上升，引起压力波动。液压系统设有冷热交换装置，通过与冷却水交换实现液压油温的稳定。

8）电控系统：

a) 用可编程控制器PLC,根据工艺要求对设备进行自动控制，并对工艺参数进行记录、存储、实时显示；工控电脑配置：P4/19″LCD显示器；配键盘、鼠标、300G硬盘、U盘接口。

b) 日本岛电公司数显控温表，用来对升温过程进行智能控制及显示，使升温过程按照工艺要求分步分段进行。此表为主控温表；

c) ③加热电源：总加热功率为30kw，加热电源采用晶闸管可控硅（洛阳万聪中频电源），分为三个区加热，以确保温度均匀；

功率控制器采用移相触发方式来实现电压的无级调节，从而达到控制功率的目的。具有软起动、软关断、恒流、限流以及缺相保护、负载断线保护、过流保护、过热保护等功能；

d) 复合数显真空计（成都睿宝），低真空下为热偶计，高真空下为电离计；其中电离规采用金属电离规，并带一套备件。

e) 使用陶瓷护管双铂铑型热电偶或高温钨铼型热电偶测温。

f) 位移计及二次仪表用来显示压头位移，显示精度0.02mm；

g) 油压传感器及二次仪表用来显示压机压力,精度≤±0.1Mpa；

h) 所有仪表及控制元件集中在一个特制电控柜内；

i) 控制系统上设有过流、超温及断水等分类报警功能。所有电器部件均选用通过CE认证、ISO9001认证的生产厂商。选用的电气元器件确保安全可靠。