故障现象

原因

排除方法

1、抽空阀无法开启

（1）机械泵前阀未开启

参照故障2

（2）压缩空气压力是否够

（2）要求达到0.4MPa～0.6MPa

（3）粗抽阀的电磁换向阀不工作。

参照故障3

（4）高真空阀上的行程开关未压紧。

(4)调整行程开关与上面盖板的位置合适

2、机械泵前阀无法开启

（1）气动气源压力不够

(1)达到0.4MPa～0.6MPa

（2）电磁换向阀问题

参照故障3

3、磁控向阀不工作

（1）接通电无吸合动作

(1)线圈损坏,更换线圈更换卷电磁阀

（2）工作环境温度低

(2)室温高于45℃

（3）阀体有阻塞

(3)通过手动—自动检查清洗阀体，然后注入泵油

（4）气源气压不足

（4）0.4MPa～0.6MPa

4、前级阀无法开启

（1）气压不足

（2）电磁换向阀工作

参照故障3

5、高真空阀无法开启

（1）粗抽阀上行程开关未压紧

（1）调整行程开关与上盖板位置合适

（2）气源压力不足

（2）0.4MPa～0.6MPa

（3）电磁换向阀

（3）参照故障3

（4）真空度不够（没达到真空计设定—上限）

（4）复合真空计（工作时）设定不小于5Pa

（5）前级阀未开

（5）前级阀未开

6罗茨泵不启动

（1）真空计J2未亮

（1）真空度未达到2000Pa以下

（2）24V电源烧掉

（2）更换24V电源

（3）空气开关未合上

（3）检查无问题，合上无开关

7分子泵不工作

（1）真空度不够

（1）分子泵完全启动时真空度必须达到10Pa以内

8、充气系统不工作

（1）电磁充气阀不动作

（1）线圈断路，更换线圈或者换新电磁阀

9、风机不启动

（1）空气开关未合上

（1）检查无问题，合上开关

（2）电机损坏

（2）修理或更换电机

10、加热电流非常不平

（1）加热电压接近额定值电流为零，加热带断

（1）用钼螺丝，螺母加钼片连接或者更换

（2）加热带同外壁连接

（2）用陶瓷件隔断，垫起，清理绝缘处