VHP300/50-2000真空热压中频炉技术参数

(一)VHP300/50-2000真空热压中频炉技术参数：

1Z高温度：2000℃；

2工作温度：1800℃；

3升温时间：由室温升至2000℃≤120min（空炉）；

4工作区尺寸：φ300×300mm (直径×高度)； 

5冷态极限真空度：≤5*10－4Pa；

6热态极限真空度: ≤5*10－3Pa(空炉 1600℃)；

7压升率：≤0.3Pa/h；

8压机吨位：50T；

9水冷压头直径：φ130mm；

10压头行程：150 mm；

11控温精度：±1℃；

12均温性：±5℃（950℃恒温30分钟 K偶测量）；

13可充惰性气体保护，达到微正压(≤0.11MPa 绝压)；

14加压方式:上压头单向加压;

15测温方式: 双铂铑热电偶（低温段），高温红外测温仪（高温段）。

（二）VHP300/50-2000真空热压中频炉安装条件：

1）炉体占地面积：3000*3000(mm)；

总面积：5000*5000（mm）；

2）安装形式：立式；

3）电源：180kw，380V；

4）水源：压力≥0.2MPa，流量≥5t/h；

（三）VHP300/50-2000真空热压中频炉机械结构：

1）加热室：

用于真空或保护气氛；加热器为钨网，在均温区外环形分布；并分为两部分，一部分随炉门开启，另一部分固定在炉体内，方便装卸模具；保温材料从里到外依次为钨屏、钼屏、不锈钢反射屏，不锈钢外壳；为获得较好的保温效果，节省能源，在反射屏外层安装一层莫来石保温层；钨网三区分布，保证了Z佳的温度均匀性和工件的均匀受热。发热体更换方便。整个加热区可以作为一个结构完备的部件被拆卸出来，便于维护和修理。

2）炉体：

立式安装，前开门方式；双层水冷结构，内外层均为不锈钢；内部按高真空要求抛光，外表面喷砂处理；炉体上设有真空接口、电极引入装置、热偶测温装置、光学测温装置、充气装置、放气装置；炉体与炉门密封结构为法兰形式，手轮螺栓锁紧。异型密封圈更好的保证密封低泄漏。

3）真空系统：

为三级高真空机组（分子泵/罗茨泵/旋片泵）；配置为FF-400型复合分子泵/ZJP70罗茨泵/TRP48直联泵；初抽管路配置分子筛过滤器，保护真空元件；附件为波纹管、支架、检漏接口等；主要的工艺真空阀门均为气动或电动；

4）充放气系统：

高温下可充入高纯氮气、氩气等惰性气体，在常温时可开放气阀用于破坏真空；由电磁阀、流量计及管路构成，可设定不同的充气压力范围，通过压力开关可自动充气和补气；充气阀门及管道位于炉体侧面下部，放气阀门及管道位于对面上部。

5）气控系统：

由气动三联件、电磁换向阀、管路构成；用来驱动各系统的气动阀门；

6）水冷系统：

根据真空炉各部分对冷却水的要求，制作分水排及积水排、由阀门、管路等组成；开放式不锈钢水箱回水；对炉体、炉门、真空系统、水冷压头、水冷电极等进行冷却；其中总进水管路安装水压传感器；

7）压力机及液压系统：

压机型式采取双梁四柱式，输出压力范围为3--50T；具有较大的工作平台，用来放置真空炉体。为了保证上下压头的平行度，炉体上的水冷压头与油缸的连接方式为法兰连接；专用的液压系统，具有压力及位移控制功能，用来驱动油缸；压力控制阀门采用意大利阿托斯产品，自动整定次级压力，并能有效补偿由于热延展带来的压力波动，精度控制1%，具有泄压与保压功能，用来驱动压头；位移控制阀门采用意大利阿托斯产品，自动整定次级流量，精度控制≤1mm；加压可分别采用压力模式或位移模式：压力模式即采用比例减压阀控制出口油压，按用户设定压力给工件加压；位移模式即在Z高压力以内，采用比例流量阀控制出口流量，使压头按用户设定的速度移动。两种模式均可手动及程序控制；压头行程150mm；测距采用电阻位移计；

8）电控系统：

l电源柜加用电计量表，用于计量设备用电量；具有手动及自动两种控制方式，采用并联方式，两种方式可自动转换；手动方式采用按钮或旋钮操作；自动控制采用可编程控制器PLC（欧姆龙CP1E）及工控机、触摸屏，根据工艺要求，自主开发组态二次软件对设备进行自动控制。

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