真空气氛烧结炉新工艺操作步骤

1、准  备

开真空气氛烧结炉前先打开冷却水、气源、控制柜总开关、加热总开关、控制电源。（检查循环水回水是否通畅）

2、装  料

装料前，检查炉内加热器各联接处,确保连接可靠,无松弛、打火等现象。用万用表测量各电极与炉壳之间的绝缘电阻,需≥500Ω，方可使用。如绝缘不够，需检查加热器安装情况，直至绝缘阻值达标。检查红外线透视玻璃,确保其处于完好、清洁的状态.装好料后调整料架到工作位置，到位后关好炉门并用手轮锁紧。

3、抽真空

依次打开真空气氛烧结炉抽空阀、机械泵，进行抽真空。当真空度小于1000Pa时，打开罗茨泵。

4、升  温

在抽真空的过程中，设置高、低温温度表的升温曲线（低温0-1200℃、高温1200℃-2000℃）。同时检查真空气氛烧结炉子水路工作情况,确保回水通畅。当抽到预定真空时，可进入升温阶段，按下“热偶-红外”按钮,使低温热偶插入炉子内部,进入工作状态.按下“加热执行”按钮,对应低温仪表上的RUN指示灯变亮,升温工作开始.升温工作后,观察电控柜上的电流表指示是否正常.(如出现三相不平衡,或无电流等现象后,表明加热器出现故障,需关闭加热.打开炉门检测修理)当温度升到1200℃时，程序自动关闭低温表，打开高温表。热偶自动抽出转为红外线测温仪控制。（要注意观察低温热偶是否退出炉膛），高温红外工作是否正常。当温度升到时1598℃时，会发出声光报警提示充入氮气。

5、充 气

充气前检查氮气压力是否充足、炉门是否锁紧、炉体各接口是否有松动等情况。依次关闭抽空阀、罗茨泵、机械泵。关闭真空系统后，打开充气阀充入氮气，同时观测气压表示数。当压力值≥标准大气压力（100KPa）后，关闭充气阀。（确认自排气阀是否自动排气）本系统放气阀具有自动排气功能，当压力高于110KPa时阀门自动打开排气，直到压力下降至设定值以下时方自动关闭。

6、结  束

工艺结束后关闭加热电源，等待系统自然降温。生产结束后，关闭控制柜电源。

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