ZRYS150/20-2000型真空热压炉操作规程及注意事项

1.请您在开启设备之前确认设备摆放已平稳。各旋钮和阀门状态。加热室内是否清洁。水，电，气源是否工作正常。

2.电控柜启动后，请先确认有无报警指示及各仪表数字显示正确稳定。

3.如设备配有工控机，在工控机遇到如断电，死机等特殊情况而无法正常工作的情况，可以通过按钮来继续对设备进行操作，也就是说，旋钮和按钮的控制级别高于工控机的控制级别。

4.无水压或水压低的时候无法进行任何抽真空及加热动作，这是通过软件实现对设备的保护功能。

5.设备抽真空时，请先开粗抽阀，打开旋片泵和前级阀，待真空度达到6.0E+2Pa以下时,打开罗茨泵和扩散泵，待真空度达到6.0E+0Pa以下时，关粗抽阀，开主阀。关闭顺序与之相反，先关主阀，开粗抽阀，关扩散泵和罗茨泵，待扩散泵冷却后关闭前级阀和旋片泵，Z后关闭粗抽阀。

6.设备运行过程中，如发生紧急情况，在相应旋钮及按钮关闭无效时可直接按“控制电源关”按钮，如果“控制电源关”按钮也失效时，请直接断开总电闸。

7.设备运行结束后请抽适当真空后再关闭系统，保持加热室内环境清洁干燥。

8.在设备运行结束后，先关闭各项功能旋钮，再按下“控制电源关”按钮。在工控界面的操作面板中按下“电脑关闭”按钮。

9.定期清洁电控柜内的灰尘及异物。如需更换零部件，请电气专业人员进行更换，非专业人员请勿擅自打开电控柜。